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集成電路行業(yè)廢氣處理如何保證效果?

        前幾天,有客戶打電話咨詢集成電路的廢氣處理問題,小編與技術(shù)人員溝通后給客戶回復(fù)了方案及報價,對于集成電路所產(chǎn)生的環(huán)保問題,主要有生產(chǎn)和生活廢水,還有車間內(nèi)的廢氣和固體廢物等,對于廢水和固廢的處理本文不詳細介紹,但是對于集成電路行業(yè)的廢氣處理,需要為您詳細的介紹一下,以便對您選擇環(huán)保設(shè)備有那么一點點的幫助,本文由恒藍環(huán)保公司小編帶您了解集成電路行業(yè)廢氣處理采用什么方法?
 
        首先,對于集成電路行業(yè)的廢氣需要歸納一下,這些廢氣是有幾個種類呢?一般是有五種左右的不同廢氣,有酸性廢氣、堿性廢氣、有機廢氣、含塵廢氣、熱無處理廢氣,因為集成電路的生產(chǎn)線通常是24小時的流水線,所以對于廢氣處理工程設(shè)計方面需要可靠。在生產(chǎn)集成電路的過程中所使用的硅烷、磷烷等特殊氣體基本上均為危險、有毒化學(xué)品,在生產(chǎn)裝置的工藝排氣中有未反應(yīng)的氣體、特殊氣體鋼瓶交換時也有氣體排出,且發(fā)生意外時,有可能大量的工藝氣體因泄漏而排出,需要就近進行處理。處理的方法有水洗式、干式吸附式、燃燒/加熱分解式。
 
集成電路行業(yè)廢氣處理如何保證效果?
集成電路行業(yè)廢氣處理如何保證效果?
 
      
言歸正傳,集成電路行業(yè)的廢氣需要采用廢氣凈化塔進行處理,一般采用氣液逆流操作,尾部的離心風(fēng)機將收集到的廢氣吸到廢氣吸收洗滌凈化塔內(nèi),經(jīng)過噴淋層和填料層,廢氣與吸收液進行氣液兩相充分接觸吸收中和反應(yīng),廢氣經(jīng)過三級凈化后,再經(jīng)除霧板脫水除霧后,引入吸附設(shè)備,利用蜂窩狀活性炭的多孔結(jié)構(gòu),活性炭孔壁上的大量的分子可以產(chǎn)生強大的引力,從而達到將介質(zhì)中的雜質(zhì)吸引到孔徑中的目的,然后經(jīng)過15米的煙囪高空排放到大氣中。
 
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